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单词 shallow trench isolation
释义
shallow trench isolation

Encyclopedia

  • 工学CMOS工艺
    shallow trench isolation;STI浅槽隔离
    集成电路制造中,防止相邻半导体器件之间由于电场延伸串扰产生寄生漏电流的高级隔离工艺技术。

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