“scanning probe lithography”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	scanning probe lithography
释义	scanning probe lithography Encyclopedia 工学磁致动器释 scanning probe lithography扫描探针光刻利用多种扫描探针显微镜开展纳米级加工的一系列光刻技术的总称。
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