“reactive sputtering”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	reactive sputtering
释义	reactive sputtering Encyclopedia 工学溅射工艺释 reactive sputtering反应溅射具有一定能量的氩离子（Ar+）溅射金属或合金靶表面，被溅射出的金属原子和反应气体发生化学反应，在基体上形成化合物薄膜的技术。
随便看	构件化方法构件图构件库构件式幕墙构件性构件描述语言构件标准构件生产线构件生物构件生长构件种群构件组合构图构型构型保持构型偏倚蒙特卡罗法构型分析构型单元构型异构构型无序构型界面构型相关构型综合构型翻转构型要素

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