“radio frequency plasma”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	radio frequency plasma
释义	radio frequency plasma Encyclopedia 理学气体放电释 radio frequency plasma射频等离子体由射频电磁场（2～200兆赫）激励气体放电产生的等离子体。包括容性耦合等离子体、感性耦合等离子体和螺旋波等离子体。
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