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radio frequency plasma
释义
radio frequency plasma
Encyclopedia
理学
气体放电
释
radio frequency plasma
射频等离子体
由射频电磁场(2~200兆赫)激励气体放电产生的等离子体。包括容性耦合等离子体、感性耦合等离子体和螺旋波等离子体。
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更新时间:2025/4/4 23:36:04