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proton beam writing
释义
proton beam writing
Encyclopedia
工学
磁致动器
释
proton beam writing; PBW
质子束直写
利用聚焦高能质子束对光刻胶抗蚀剂材料直接刻写微米、纳米尺度结构的新技术。
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更新时间:2025/7/4 19:48:57