“proton beam writing”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	proton beam writing
释义	proton beam writing Encyclopedia 工学磁致动器释 proton beam writing; PBW质子束直写利用聚焦高能质子束对光刻胶抗蚀剂材料直接刻写微米、纳米尺度结构的新技术。
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