polymeric material for lithographic process of integrated circuit chip
释义
polymeric material for lithographic process of integrated circuit chip Encyclopedia
理学[补录条目]释 polymeric material for lithographic process of integrated circuit chip印刷电路聚合物材料 在硅片上以印刷技术快速形成集成电路板过程中所用的高分子材料。属于电子工业高分子材料之一。主要是特殊光敏高分子，称为光刻胶。