“pneumatic flow field”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	pneumatic flow field
释义	pneumatic flow field Encyclopedia 工学光刻光源释 pneumatic flow field气动流场为了保证光刻用准分子激光器正常运转而设计的激光器放电腔内部流场环境。
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