“plasma sputtering”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	plasma sputtering
释义	plasma sputtering Encyclopedia 工学半导体薄膜制备释 plasma sputtering等离子体溅射利用真空室中的稀有气体通过辉光放电产生的等离子体轰击靶材，使其原子溅射出来，落在镀件表面形成薄膜的物理气相淀积技术。
随便看	无共线三格点问题无关无关值无关元无关函数无关列无关参量无关序列无关度无关性无关族无关点无关的无关紧要的无关统计量无关联无关行无关解无关集无关顶点无冗余性无冗余的无冲击的无冲突散列函数无减除色散关系

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