“plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD
释义	plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD Physics 等离子体物理学 plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD等离[子]体增强化学气相沉积
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