“plasma cleaner”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	plasma cleaner
释义	plasma cleaner Encyclopedia 工学制样/消解设备释 plasma cleaner等离子体表面处理仪通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性粒子的“活化作用”来处理样品表面，实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的的仪器。
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