“plasma assisted deposition”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	plasma assisted deposition
释义	plasma assisted deposition Encyclopedia 工学激光加工释 plasma assisted deposition等离子辅助沉积在离子束辅助沉积和低压反应离子镀基础上发展起来的一种先进的镀膜技术。
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