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physical/chemical vapor deposition
释义
physical/chemical vapor deposition
Encyclopedia
工学
微纳机电系统
释
physical/chemical vapor deposition
气相沉积
利用气相中发生的物理或化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属、化合物单层或多层薄膜的技术。
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更新时间:2025/3/4 1:10:27