“on-line aberration”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	on-line aberration
释义	on-line aberration Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 on-line aberration在线波像差检测基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。
随便看	等交比曲线等交比点等交比点列等交比的等亮度光度计等亮度线等价等价下配边等价丛等价事件等价二次形式等价二次形式型等价于零的流形等价交换等价交换规则等价传递性规则等价偏差等价元等价公式等价关系等价准则等价函数等价划分等价加细等价十进制

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