“on-line aberration”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	on-line aberration
释义	on-line aberration Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 on-line aberration在线波像差检测基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。
随便看	伴随的伴随矩阵伴随积分方程伴随积分算子伴随空间伴随算子伴[随]算符伴随算符伴随系统伴随线性变换伴随线性方程组伴随线性映射伴随线性算子伴随线性系统伴随统计估计方法伴随群伴随联络伴随脉冲伴随自同态伴随蒙特卡罗方法伴随行列式伴随表示伴随轨道伴随边值问题伴随边割

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