“NEMS传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	NEMS传感器
释义	NEMS传感器 Encyclopedia 工学温度传感器释 NEMS sensorNEMS传感器特征尺寸在1～100纳米，以机电结合为主要特征，采用纳米级电子和纳米级机械加工技术制造，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征的新型传感器。全称纳机电系统（nano-electromechanical system; NEMS）传感器。
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