“nanolithography”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	nanolithography
释义	nanolithography Encyclopedia 工学光电子器件制备技术释 nanolithography纳米压印技术通过机械压力和温度的控制将纳米压印母版上已做好的图形转移到纳米压印胶上的纳米图形制造技术。其极限分辨率只受母版分辨率的影响而不受光学衍射极限的限制。 Physics ＞光学＞纳米光学和超快光学＞释义 nanolithography纳米压印光刻
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