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MPCVD
释义
MPCVD
Encyclopedia
工学
化学气相沉积
释
microwave plasma chemical vapor deposition; MPCVD
微波等离子体化学气相沉积
用微波放电产生等离子体进行化学气相沉积的方法。
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更新时间:2024/12/26 0:41:12