| 释义 |
micro/nano electromechanical system
Encyclopedia
工学微纳机电系统释
micro/nano electromechanical system; M/NEMS微/纳机电系统
利用微/纳制造技术加工出的各种微/纳结构和器件的系统。
理学微纳米机电系统释
micro/nano electromechanical system; MEMS/NEMS微纳米机电系统
在微米/纳米尺度内设计和制造、集成多种元件, 构建能显示微米/纳米级结构新效应的器件和系统。
|