“micromechanical gyroscope”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micromechanical gyroscope
释义	micromechanical gyroscope Encyclopedia 工学陀螺仪释 micromechanical gyroscope微机械陀螺仪采用半导体生产中成熟的沉积、蚀刻和掺杂等工艺，将机械装置和电子线路集成在微小的硅芯片上完成，最终形成一种集成电路芯片大小的微型陀螺仪。是陀螺仪技术与微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。又称MEMS陀螺仪、硅微陀螺仪。
随便看	板板上直接发光二极管封装板中弹性波板元板共振吸声板共振吸声体板内变形作用板内地震板内形变板凳龙板劈理板块三联点板块动力学板块型节目板块构造板块构造学说板块构造说板块汇聚板块相对运动板块结构板块绝对运动板块边界板块运动板块运动模型板坯

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