“micromachining process”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micromachining process
释义	micromachining process Encyclopedia 工学微纳机电系统释 micromachining process微加工工艺产生微米或者更小尺度微型结构或器件的加工方法。也泛指所有微小器件设计与加工技术的总称。
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