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micro electron-mechanical system
释义
micro electron-mechanical system
Encyclopedia
工学
微机电系统
释
micro electron-mechanical system;MEMS
微机电系统
尺寸在微米量级到亚微米量级,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。全称微电子机械系统。
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更新时间:2024/12/26 0:20:55