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micro-electromechanical system optical sensor
释义
micro-electromechanical system optical sensor
Encyclopedia
工学
微电子机械系统光传感器
释
micro-electromechanical system optical sensor
微电子机械系统光传感器
基于微电子机械系统(micro-electromechanical system; MEMS),利用光学方法将被测量转换成光学量或电学量传输出去的传感器。
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更新时间:2025/7/9 4:13:55