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micro-electromechanical system inertial sensor
释义
micro-electromechanical system inertial sensor
Encyclopedia
工学
〔惯性仪表〕
释
micro-electromechanical system inertial sensor
微机械惯性传感器
集微型精密机械、微电子学、半导体集成电路工艺等技术于一身的惯性器件。又称微机电惯性仪表。
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更新时间:2024/7/3 1:33:22