“micro-electro-mechanical system inertial sensor”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro-electro-mechanical system inertial sensor
释义	micro-electro-mechanical system inertial sensor Encyclopedia 工学惯性导航释 micro-electro-mechanical system inertial sensor; MEMS inertial sensor微机械惯性传感器以集成电路和微机械加工工艺为基础的惯性传感器。
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