“micro-electromechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro-electromechanical system
释义	micro-electromechanical system Encyclopedia 工学封装技术释 micro-electromechanical system;MEMS微电子机械系统借助半导体制造技术加工微米尺度的微传感器、微执行器等器件，与集成电路相结合，形成信号处理与控制、机电、机械、传感集成一体化的智能系统。 Physics 凝聚态物理学特殊物相与极端条件 micro-electromechanical system, MEMS微电子机械系统
随便看	正交序列正交序列估计正交度量正交张量正交归一化正交归一基正交归一基函数正交归一性正交归一本征基函数正交归一条件正交归一系正交归-化函数正交归化函数正交形式正交心电图正交态射正交态射投影正交性正交性原理正交性定理正交性条件正交性质正交投影正交投影定理正交投影算子

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