“micro-electromechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro-electromechanical system
释义	micro-electromechanical system Encyclopedia 工学封装技术释 micro-electromechanical system;MEMS微电子机械系统借助半导体制造技术加工微米尺度的微传感器、微执行器等器件，与集成电路相结合，形成信号处理与控制、机电、机械、传感集成一体化的智能系统。 Physics 凝聚态物理学特殊物相与极端条件 micro-electromechanical system, MEMS微电子机械系统
随便看	化学结构编码化学统计力学化学统计学化学群化学耗氧量化学胚胎学化学能化学腐蚀化学致癌物化学色谱化学荧光化学药品化学药物分析化学萃取化学蒸气发生进样技术化学补偿控制化学表型化学表面处理化学计量化学计量不等量聚合化学计量化合物化学计量学化学计量应用化学计量法化学计量火焰

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