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micro-electromechanical system
释义
micro-electromechanical system
Encyclopedia
工学
封装技术
释
micro-electromechanical system;MEMS
微电子机械系统
借助半导体制造技术加工微米尺度的微传感器、微执行器等器件,与集成电路相结合,形成信号处理与控制、机电、机械、传感集成一体化的智能系统。
Physics
凝聚态物理学
特殊物相与极端条件
micro-electromechanical system, MEMS
微电子机械系统
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更新时间:2025/7/9 6:38:43