| 释义 |
MEMS传感器
Encyclopedia
工学［重点列出的传感器］释
MEMS sensorMEMS传感器
利用微机电系统（micro electro mechanical system）技术制成的传感器。
工学温度传感器释
MEMS sensorMEMS传感器
用半导体集成电路（IC）相似的批处理硅微工艺制造的，尺寸在微米与毫米之间的（一般特征结构尺寸在微米量级，整体尺寸在毫米量级），含有可活动的机械元件或特定机械结构的微型传感器件。全称微机电系统（micro-electro-mechanical system; MEMS）传感器。
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