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单词 MEMS in-situ test
释义
MEMS in-situ test

Encyclopedia

  • 工学微机电系统分层级设计
    MEMS in-situ test微机电在线测试
    测试结构或样品的制备与标准的微机电系统(MEMS)器件制造工艺完全相同的测试方法。

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