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low pressure chemical vapour deposition
释义
low pressure chemical vapour deposition
Encyclopedia
工学
化学气相沉积
释
low pressure chemical vapour deposition
低压化学气相沉积
反应室的工作压强低于0.1兆帕的化学气相沉积技术。简称LPCVD。
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更新时间:2025/3/14 16:06:55