“low pressure chemical vapour deposition”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	low pressure chemical vapour deposition
释义	low pressure chemical vapour deposition Encyclopedia 工学化学气相沉积释 low pressure chemical vapour deposition低压化学气相沉积反应室的工作压强低于0.1兆帕的化学气相沉积技术。简称LPCVD。
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