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单词
local oxidation
释义
local oxidation
Encyclopedia
工学
硅热氧化工艺
释
local oxidation
局部氧化
在半导体硅片上的选定区域中形成低于衬底表面的二氧化硅,以实现器件隔离的集成电路制造工艺技术。
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更新时间:2024/12/26 1:19:54