“lithography projection objectives”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	lithography projection objectives
释义	lithography projection objectives Encyclopedia 工学光刻投影物镜释 lithography projection objectives光刻投影物镜将集成电路芯片的掩模图形线条按照-0.25的微缩倍率经曝光投影后复制到硅片上的光刻机组件。是光刻机中最精密的核心部件。
随便看	Cai Bo CAICA Cai Changnian Cai Chusheng Cai Dabao Caidian Qu Caidiao opera Cai E Cai Fadu Cai Fan Cai Ge caigetang Cai Gui Cai Hesen Museum Cai Heting Cai Hongnian Cai Hongqi Cai Jia Caijiachongian Stage Caijia Quan Cai Jikun Cai Jing caijin stitch Cai Jintao Cai Jiou

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