“lithography illumination system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	lithography illumination system
释义	lithography illumination system Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	等价丛等价事件等价二次形式等价二次形式型等价于零的流形等价交换等价交换规则等价传递性规则等价偏差等价元等价公式等价关系等价准则等价函数等价划分等价加细等价十进制等价原理等价变换等价同一律等价否定规则等价命题等价回路等价图等价在壳图

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。