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单词
laser parameter detection
释义
laser parameter detection
Encyclopedia
工学
光刻光源
释
laser parameter detection
激光参数检测
在光刻光源投入使用前,对光刻激光性能参数进行准确检测评估,并在使用过程中实时监测控制。与光刻系统成本、光刻质量、成品率、效率和设备利用率等密切相关。
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更新时间:2025/7/3 18:18:45