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I线光刻技术
释义
I线光刻技术
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
I-line lithography technology
I线光刻技术
集成电路制造中,基于汞灯产生的波长为365纳米曝光光源的投影光刻技术。
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更新时间:2025/3/15 10:53:11