“I线光刻技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	I线光刻技术
释义	I线光刻技术 Encyclopedia 工学光刻技术释 I-line lithography technologyI线光刻技术集成电路制造中，基于汞灯产生的波长为365纳米曝光光源的投影光刻技术。
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