| 释义 |
ion microprobe mass analyzer
Encyclopedia
工学[核技术分析方法]释
ion microprobe mass analyzer离子探针质谱分析器
测量固体表面微区组成的一种质谱分析仪器。又称为二次离子质谱仪（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）。
理学【光化学分析法】释
ion microprobe mass analyzer离子探针质量显微分析仪
以聚焦很细（1～2微米）的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器。简称离子探针。
Chemistry
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