| 释义 |
ion implantation
Encyclopedia
工学[粒子束流与固体相互作用]释
ion implantation离子注入
用注入离子的方式对固态材料进行掺杂和改性的过程。
工学[薄膜材料]释
ion implantation离子注入
用能量为100千伏量级左右的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理化学作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能的一种技术。
工学〔离子束技术〕释
ion implantation离子注入
将加速器产生的荷能离子注入材料的过程。注入离子在材料中行进一段距离后滞留。注入的材料表面性质发生改变，具有耐磨损、耐腐蚀、硬度高等特性。
理学〔核技术应用〕释
ion implantation离子注入
将特定的电离杂质原子经静电场加速打到晶圆表面，从而向材料中引入可控数量的杂质的过程。
Physics
凝聚态物理学结构
ion implantation离子注入
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ion implantation离子注入
ion implantation离子植入†，离子注入
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