“ion cleaning”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	ion cleaning
释义	ion cleaning Encyclopedia 工学激光加工释 ion cleaning离子清洗利用离子源发射出的具有一定能量的离子束对基底表面进行轰击，利用离子的活性和能量，去除基底表面的污染物和吸附物质，获得清洁表面的技术。
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