“ion beam sputtering deposition system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	ion beam sputtering deposition system
释义	ion beam sputtering deposition system Encyclopedia 工学物理气相沉积技术释 ion beam sputtering deposition system离子束溅射镀膜装置通过离子束轰击固体靶材，使溅射的粒子沉积于基材（工件）形成固体薄膜的一种真空镀膜装置，主要由真空系统、离子源、溅射靶材、控制系统等几部分组成。
随便看	affine scaling method affine scheme affine set affine shape operator affine space affine sphere affine standard equation affine structure affine subgroup affine subspace affine surface affine symmetric space affine symplectic space affine tensor affine torsion affine transfer affine transformation affine transformation group affine type affine unimodular group affine variety affine volume affine weight affine Weyl vector affinis

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