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单词 ion beam mixing
释义
ion beam mixing

Encyclopedia

  • 工学[粒子束流与固体相互作用]
    ion beam mixing离子束混合
    将离子束与薄膜技术相结合,使用离子束(通常是惰性气体离子)在沉积的膜层与基底之间,或者是在膜层与膜层之间通过原子间的碰撞相互混合,从而形成均匀成份的合金相。

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