| 释义 |
ion beam etching
Encyclopedia
工学刻蚀工艺释
ion beam etching离子束刻蚀
定向高能离子撞击固体靶时，入射离子所携能量转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量，这些原子就会被移开或从表面上被除掉的技术。又称离子铣。
工学磁致动器释
ion beam etching离子束刻蚀
利用具有一定能量的高能离子束流轰击待刻蚀材料的表面，高能离子束的动量会传递给待刻蚀材料表面的原子或分子，产生溅射效应，达到刻蚀形成需要的几何图形的工艺。又称离子铣。
Physics
|