“halo implant”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	halo implant
释义	halo implant Encyclopedia 工学离子注入工艺释 halo implant晕环注入在集成电路制造中，通过大角度倾斜注入（largeangle tiled implant，LATI）与衬底相同类型的掺杂离子，在源漏区和衬底之间形成晕环（Halo）结构高掺杂区的技术。
随便看	相碰相积分方法相称相移相移器相移定理相移常数相移干涉显微术相移掩膜技术相移掩膜等离子体成像光刻相移电子散斑干涉相移补偿器相移键控相程相稳定条件相空间相空间体积相空间分布函数相空间定理相空间密度相空间法相空间理论相空间重构相等相等三向量

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