“gate-last process”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	gate-last process
释义	gate-last process Encyclopedia 工学CMOS工艺释 gate-last process后栅工艺集成电路制造中，在晶体管源漏掺杂激活等高温工艺之后再形成高K金属栅的工艺技术。
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