“focused ion beam lithography”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	focused ion beam lithography
释义	focused ion beam lithography Encyclopedia 工学磁致动器释 focused ion beam lithography聚焦离子束光刻在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10～200千电子伏特，在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案，制备微纳器件的工艺。
随便看	拟球面拟球面曲线拟理想拟瓢蛤拟生灭过程拟病毒拟病毒颗粒拟白纻歌辞拟盗虫属拟直纹的拟相似性拟相似的拟石蟹拟石蟹属拟离散的拟离散空间拟离散谱拟秩拟积拟稳定分布拟稳定分布函数拟稳定的拟稳平差拟稳态水侵拟稳态渗流

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