“focused ion beam lithography”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	focused ion beam lithography
释义	focused ion beam lithography Encyclopedia 工学磁致动器释 focused ion beam lithography聚焦离子束光刻在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10～200千电子伏特，在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案，制备微纳器件的工艺。
随便看	等离子辅助沉积等离子鞘套等离子频率等离波导等离激元光子学等离激元太赫兹发射器等离激元太赫兹探测器等离激元太赫兹调制器等离激元超材料等离点等积三角形等积仿射变换等积体等积图形等积圆柱投影等积圆锥投影等积多边形等积度量等积形变等积投影等积方位投影等积映射等积点等积的等程半音

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