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femtosecond laser lithography
释义
femtosecond laser lithography
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
femtosecond laser lithography
飞秒激光光刻
主要基于多光子吸收效应使被曝光材料发生光化学反应的一种光刻技术。
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更新时间:2026/11/15 17:34:04