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extreme ultraviolet lithography technology
释义
extreme ultraviolet lithography technology
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
extreme ultraviolet lithography technology
极紫外光刻技术
集成电路制造中,以波长为13.5纳米的极紫外光作为曝光光源的光刻技术。
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更新时间:2025/12/10 1:27:25