| 释义 |
electron beam lithography
Encyclopedia
工学激光加工释
electron beam lithography电子束曝光
用低功率密度的电子束照射涂有感光胶的晶片，通过直接描画或投影复印图像技术产生图形的一种微细加工技术。
工学磁致动器释
electron beam lithography电子束光刻
利用聚焦的加速电子束在涂有抗蚀剂的铬板或者半导体基片上进行微纳米结构图形制备的工艺。
理学电子束曝光技术释
electron beam lithography电子束曝光技术
利用电子束在样品表面制造、加工图样的工艺。是纳米加工领域的关键技术。
Physics
Chemistry
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