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dry etching
释义
dry etching
Encyclopedia
工学
干法刻蚀
释
dry etching
干法刻蚀
通过物理和化学方法相结合去除被刻蚀薄膜的技术。
工学
磁致动器
释
dry etching
干法刻蚀
利用气体或等离子体与材料表面反应形成挥发性物质,或直接轰击材料表面使之被去除的一种可控的工艺过程。
Physics
凝聚态物理学
结构
dry etching
干刻蚀
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更新时间:2025/4/4 18:33:35